
SEM截面圖
SEM俯視圖
圖形化藍寶石襯底(PSS)可有效改善晶體生長質(zhì)量并提高LED器件光萃取效率,已成為業(yè)內(nèi)LED外延生長的主流襯底。經(jīng)過近10年發(fā)展,常規(guī)PSS襯底產(chǎn)品已趨于性能提升極限。我公司在原有生產(chǎn)工藝基礎(chǔ)上進行優(yōu)化升級,通過大量研究和實驗論證,開發(fā)了一種SiO2介質(zhì)復(fù)合襯底,其生產(chǎn)效率和產(chǎn)品亮度均得到提高。產(chǎn)品性能和良品率較之前都得以提升。更重要的是,外延廠商無論使用CPSS還是PSS產(chǎn)品,外延工藝均無需做任何調(diào)節(jié),就可將產(chǎn)品進行替換。
4英寸新型圖形襯底產(chǎn)品性能參數(shù)